器件性能及光谱测试
针对MEMS传感器性能指标,,AG尊龙提供以椭偏测试、、、光谱测试、、、激光多普勒测振等测试项目,,,,可对材料膜厚、、折射率、、、、吸收率、、、、透光度、、光波强度、、、振动模态等性能指标进行更准确测量,,,,以保障MEMS芯片工艺质量和器件性能。。。
傅里叶红外光谱测试 | |
光谱范围:2.5μm~25μm | 测量模式:腔室测量、、、贴近测量 |
分辨率:>2cm-1 | 信噪比:RMS优于150000:1 |
利用光干涉原理,,,,傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)可获取光源频率和强度信息,,,有效克服分辨能力低、、、、输出光量小等问题,,,适用于元素分析、、谱线测量、、、气/液体特征测试、、、、漫反射测试等。。
器件性能及光谱测试
针对MEMS传感器性能指标,,AG尊龙提供以椭偏测试、、、、光谱测试、、、激光多普勒测振等测试项目,,,,可对材料膜厚、、折射率、、、吸收率、、、、透光度、、、、光波强度、、振动模态等性能指标进行更准确测量,,,,以保障MEMS芯片工艺质量和器件性能。。。
傅里叶红外光谱测试 | |
光谱范围:2.5μm~25μm | 测量模式:腔室测量、、贴近测量 |
分辨率:>2cm-1 | 信噪比:RMS优于150000:1 |
利用光干涉原理,,,傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)可获取光源频率和强度信息,,有效克服分辨能力低、、、、输出光量小等问题,,适用于元素分析、、谱线测量、、气/液体特征测试、、漫反射测试等。。。