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    探针台阶测试

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    作为接触式表面形貌测量仪器，，，，台阶仪探针在器件表面滑动时，，，，微小的表面峰谷结构将使探针上下运动，，，，以此测量台阶高度、、粗糙度、、波纹度、、、、磨损度等多种表面形貌技术参数，，反映真实的轮廓信息。。。
    参数单次扫描长度：0~150mm
    产品参数
    单次扫描长度：0~150mm
    扫描速度：2~25000μm/s
    垂直扫描范围：0~1000μm
    采样率：5~2000Hz
    测量精度：±10nm
    测量精度：±4Å
    我知道了
    详细信息

    • 微纳结构表征测试

      MEMS产品通常具有微米级、、、纳米级的叠层、、、、空腔、、台阶、、、、薄膜结构，，，对于晶圆基底表面洁净度、、、结构棱角、、、膜层关系等详实分析，，有利于评估加工精度并优化方案；AG尊龙MEMS微纳加工平台提供一站式微纳结构测试服务，，，涵盖显微观测与能谱分析系统、、、探针台阶仪等设备及测试能力。。。


    探针台阶测试

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    扫描速度：2~25000μm/s

    垂直扫描范围：0~1000μm

    采样率：5~2000Hz

    测量精度：±10nm

    测量精度：±4Å



           作为接触式表面形貌测量仪器，，台阶仪探针在器件表面滑动时，，微小的表面峰谷结构将使探针上下运动，，，以此测量台阶高度、、粗糙度、、、波纹度、、、磨损度等多种表面形貌技术参数，，，反映真实的轮廓信息。。。。

    探针台阶测试
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    扫描速度：2~25000μm/s
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    采样率：5~2000Hz
    测量精度：±10nm
    测量精度：±4Å
    13065680938
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      MEMS产品通常具有微米级、、、、纳米级的叠层、、、、空腔、、、、台阶、、、薄膜结构，，对于晶圆基底表面洁净度、、、、结构棱角、、、膜层关系等详实分析，，有利于评估加工精度并优化方案；AG尊龙MEMS微纳加工平台提供一站式微纳结构测试服务，，涵盖显微观测与能谱分析系统、、探针台阶仪等设备及测试能力。。。


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