• 器件性能及光谱测试

  针对MEMS传感器性能指标，
  ，，AG尊龙提供以椭偏测试
  、
  、光谱测试、
  、激光多普勒测振等测试项目，，可对材料膜厚、
  、、、折射率、、、
  、吸收率、、、透光度、、
  、光波强度、、振动模态等性能指标进行更准确测量
  ，，，，以保障MEMS芯片工艺质量和器件性能
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       AG尊龙配备采用双旋转补偿器PCr-1-SCr-2A调制技术的椭圆偏振光谱仪
，，覆盖210nm~1700nm的深紫外、、近红外光谱波段，，，适用于针对MEMS光学传感器的光学膜厚度、、
、、光学常数、、薄膜材料平整性等方面进行无接触测量评估
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